Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Код товара 2566469
АвторГалперин, Данилкин
Издательство Бином
Год выпуска2012
ISBN978-5-9963-0032-7
Вес 320 г
Оформлениетвердый переплет
Кол-во страниц 283
Материал Офсет
Размер 60х90/16
Иллюстрации Черно-белые

Наличие в е-магазине

есть в наличии
Цена в интернет-магазине
318  253
Цена в розничном магазине
389
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.



Рецензии и отзывы на книгу "Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие"

Ваш отзыв будет первым






Лидеры продаж

Механика. Основные законы
330